激光光谱共聚焦显微镜为KathMatic品牌下自主研发的高端仪器产品,简称KC。
KC产品软件KCSoft分为两部分:采集软件(KC_Mos)与分析软件(KC_ANAL)两部分,实现对仪器的控制、采集、分析等功能,软件操作简单方便,具备操作引导直观协助用户操作检测,将复杂的检测方法智能化。
下面就给大家分享一下激光光谱共聚焦显微镜在一些应用行业上的解决方案,功能强大不是说说而已。
一.水凝胶
水凝胶(hydrogen)是以水为分散介质的,具有三维空间网络结构的体系,其性质柔软,可保持一定的形状,吸水能力强(水含量可高达99%),另外水凝胶还就有良好的生物相容性,生物降解性等。
由于水凝胶通常为无色透明体,通过传统手段往往无法进行表面微观结构的测量,仅可以进行简单的观察,而KC系列激光光谱共聚焦显微镜,可以灵敏低获取水凝胶表面的微弱的反射光,进而扫描成像,获取准确的尺寸信息。
二.精密加工
精密加工是指加工精度为10-0.1微米、表面粗糙度在0.1微米以下的加工。在制造业中处于十分重要的地位,例如精密丝杠、精密齿轮、精密蜗轮、精密导轨和精密轴承等关键零件都需要精密加工的参与。常用的精密加工方法有超声辅助加工、精密车削、精密磨削、精密铣削等。
KC特别合适精密加工零部件的尺寸测量和质量检测,器高斜率、高反射性质适应性,2nm的Z轴分辨率,丰富的尺寸分析,粗糙度分功能,为精密加工领域的用户提供了可靠且易用的测量工具。
三.光学元件加工
光学零件的需求随着现代科学技术的发展而日益广泛,光学加工行业主要为光学、光电子图像信息处理产品等的下游行业提供镜片、镜头等光学元件,在整个产业链构成中处于生产半成品的中间环节。光学冷加工工艺的合理性,对产品的质量,生产效率有显著影响。
某型号激光器光学镜头具有尺寸小、去率高透明、镀膜易划伤等特点,通过传统方案很难进行三维分析和缺陷检测,应用光谱共焦原理的KC采用非接触测量方案,准确还原了光学镜头的表面形貌特征。
四.晶圆检测
半导体制造主要步骤包括光刻、刻蚀、以及薄膜沉积三大步骤,而且不断循环进行,以构造出复杂精细的电路结构。二者三个环节工艺的先进程度也直接决定了晶圆厂生产高制程产品的能力,以及芯片的应用性能。
传统的晶圆的的检测仪器为高倍显微镜或白光干涉仪,分别存在无法进行3D检测和检测区域小的问题,KC-X系列80mm/s的运动速度和不小于mmxmm的位移行程,可以对6英寸、8英寸等尺寸的晶圆进行一次性整体快速扫描成像,大大提升了检测效率。
五.疲劳断口分析
金属疲劳是指金属零件在交变压力作用下,经过一段时间后,在局部高应力区行程微小裂纹,再由微小裂纹逐渐扩展以致断裂的过程。
疲劳断裂的研究通常为疲劳试验机拉断试样,再对断口采用电子显微镜扫描观察的方式进行,由于最终结果为平面图像,无法进行三维尺寸的分析,在研究裂纹的萌生、拓展、断裂机理方面具有一定的局限性。KC-X具有3D显示和丰富的轮廓、体积分析功能,在上图可以清晰看出裂纹的萌生点和拓展方向。
六.自愈合混凝土
自愈合混凝土,是指可自行修补裂缝的实验性混凝土,在材料的基体中分布有很多细小纤维的管道。管中装有可流动的修复剂。这种新材料有可能会提高混凝土的使用寿命,并有效降低混凝土结构的维护成本。
混凝土的成分和裂纹检测通常使用金相显微镜,由于光学显微镜的景深局限,在观察钱要对样品进行切割、磨抛、镶嵌等前处理工序,需要专业的辅助设备且费时费力,使用KC-X测试时,样品无需复杂的处理,即可进行扫描观察。